Bu
çalışmada, seramik karo yüzeyinde dekoratif altın renginde TiN kaplamalar
üretmek için Katodik Ark FBB proses parametrelerinin optimizasyonu
amaçlanmıştır. Kaplama ünitesinde; altlık malzemesi olarak sırlı seramik
karolar, katot olarak saf Ti diskler ve reaktif gaz olarak da nitrojen (N2)
kullanılmıştır. Kaplama işlemi; sabit
biriktirme süresinde (90 sn), katod akımı (100-150-200A) ve N2 akış
oranı (550-650-750 sccm) değiştirilerek gerçekleştirilmiştir. Üretilen
kaplamaların L*a*b* renk
parametreleri spektrafotometre ile ölçülmüş ve ticari TiN kaplamaların L*a*b* değerleri ile
karşılaştırılmıştır. Sonuç olarak, TiN stokiyometrisine yakın olduğu düşünülen
proses parametreleri ile (550 sccm-150 A ve 650 sccm-200 A) ticari TiN
kaplamalara benzer altın renginde kaplamalar üretilmiştir.
Primary Language | Turkish |
---|---|
Subjects | Engineering |
Journal Section | Articles |
Authors | |
Publication Date | May 28, 2019 |
Submission Date | April 19, 2018 |
Published in Issue | Year 2019 Volume: 19 Issue: 1 |