Bu çalışmada, mikron-boyutlu alan etkili transistör sensörler polianilin kanallar kullanılarak üretildi. ZnO nanoparçacık katkılı ve katkısız Polianilin (PANI) sentezlenmiştir. Sentezlenen her iki PANI kullanılarak gaz algılama uygulaması için mikrofabrikasyon yöntemiyle mikron boyutlu, alan etkili transistör (FET) yapıda sensörler üretilmiştir. FET üretimi optik litografi yöntemiyle Si/SiO2 (285 nm) alttaş üzerine PANI ve PANI/ZnO kanal yapıların üretilmesiyle gerçekleştirilmiştir. Üretilen sensörlerin hidrojen (H2) gazına karşı gösterdiği elektriksel tepkiler, 25 ˚C, 50 ˚C ve 80 ˚C sıcaklıkta transistöre +20 V kapı gerilimi uygulanırken, kaynak-akaç akımı değişimleri ölçülerek belirlenmiştir. PANI kanal ile üretilen sensörlerin H2 gazını algıladığı ancak PANI içerisine ZnO nanokompozit katkılamanın algılama performansını iyileştirdiği gözlemlenmiştir. Ayrıca PANI kanallı FET sensörün aksine PANI/ZnO kanallı FET sensörlerin oda sıcaklığında oldukça iyi bir performansla çalıştığı tespit edilmiştir.
Gaz Dedektörleri FET Sensör Sistemleri İnce Film H2 Sensörleri
YOZGAT BOZOK ÜNİVERSİTESİ PROJE KOORDİNASYON UYGULAMA VE ARAŞTIRMA MERKEZİ
6602c-FEN/19-325
In this study, micron-sized Field Effect Transistor (FET) based sensors were produced using Polyaniline (PANI) channels. PANI was synthesized with and without ZnO nanoparticles. FET production was carried out by producing PANI and PANI/ZnO channel structures on Si/SiO2 (285 nm) substrate by the optical lithography method. The electrical responses of the produced sensors against hydrogen (H2) gas were determined by measuring the source-drain current at 25 ˚C, 50 ˚C and 80 ˚C while applying the +20 V gate voltage to the transistors. It has been observed that the sensors which were produced by PANI channel, detect H2 gas but adding ZnO nanocomposite into PANI improves the detection performance. Besides, unlike the PANI channel FET sensor, it has been determined that PANI/ZnO channel FET sensors operate with an excellent performance at room temperature.
6602c-FEN/19-325
Birincil Dil | İngilizce |
---|---|
Konular | Mühendislik |
Bölüm | Makale |
Yazarlar | |
Proje Numarası | 6602c-FEN/19-325 |
Yayımlanma Tarihi | 28 Nisan 2021 |
Yayımlandığı Sayı | Yıl 2021 Cilt: 37 Sayı: 1 |
✯ Etik kurul izni gerektiren, tüm bilim dallarında yapılan araştırmalar için etik kurul onayı alınmış olmalı, bu onay makalede belirtilmeli ve belgelendirilmelidir.
✯ Etik kurul izni gerektiren araştırmalarda, izinle ilgili bilgilere (kurul adı, tarih ve sayı no) yöntem bölümünde, ayrıca makalenin ilk/son sayfalarından birinde; olgu sunumlarında, bilgilendirilmiş gönüllü olur/onam formunun imzalatıldığına dair bilgiye makalede yer verilmelidir.
✯ Dergi web sayfasında, makalelerde Araştırma ve Yayın Etiğine uyulduğuna dair ifadeye yer verilmelidir.
✯ Dergi web sayfasında, hakem, yazar ve editör için ayrı başlıklar altında etik kurallarla ilgili bilgi verilmelidir.
✯ Dergide ve/veya web sayfasında, ulusal ve uluslararası standartlara atıf yaparak, dergide ve/veya web sayfasında etik ilkeler ayrı başlık altında belirtilmelidir. Örneğin; dergilere gönderilen bilimsel yazılarda, ICMJE (International Committee of Medical Journal Editors) tavsiyeleri ile COPE (Committee on Publication Ethics)’un Editör ve Yazarlar için Uluslararası Standartları dikkate alınmalıdır.
✯ Kullanılan fikir ve sanat eserleri için telif hakları düzenlemelerine riayet edilmesi gerekmektedir.